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等離子去膠機(jī)清潔規(guī)范

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    發(fā)表于 2025-7-17 15:56:10 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
    等離子去膠機(jī)的腔室清潔是保障良率的核心防線,需建立三級清潔體系(日常/預(yù)防/深度),嚴(yán)控副產(chǎn)物聚合物沉積帶來的致命風(fēng)險:  
    ??一、日常清潔(每班次執(zhí)行)??  
    ??核心目標(biāo)??:抑制活性自由基聚合物  
    ??腔壁擦拭??:停機(jī)后立即用無紡布蘸取電子級異丙醇(IPA),以同心圓路徑擦拭腔壁及電極表面,重點(diǎn)清除粘性氟碳化合物(防止后續(xù)高溫碳化)  
    ??石英窗透光率保衛(wèi)戰(zhàn)??:  
    用氟化銨緩沖液(BHF:HF/NH?F=1:7)浸透超細(xì)海綿  
    單向輕拂石英視窗>5次,透光率需維持92%以上  
    ??氣體噴淋頭搶救??:200μm孔徑用0.1MPa氮?dú)夥创担匠暡ㄕ袷幤鳎?0kHz)震落嵌壁微粒  
    ??二、預(yù)防性清潔(每50片晶圓/8小時)??  
    ??工藝原理??:氧等離子體燃燒碳化聚合物  
    ??原位干法清洗(關(guān)鍵!)??:  
    充入純氧至2Torr,啟動2000W射頻功率  
    維持60分鐘,監(jiān)測CO?濃度峰值(>5000ppm表明反應(yīng)完全)  
    ??電極活化再生??:通入10%NF?/氬混合氣,低溫模式(150℃)蝕刻鋁電極表面氧化層2μm  
    ??真空管路排毒??:尾氣閥切至燃燒塔,950℃高溫分解劇毒COF?生成物  
    ??三、深度清潔(每500片/周)??  
    等離子去膠機(jī)拆解操作(必須降溫至25℃!)??  
    ??電極板復(fù)活手術(shù)??:  
    拆下鋁制電極浸泡于磷酸/醋酸混合液(3:1)  
    陽極氧化處理重建10μm陶瓷防護(hù)層  
    ??腔體噴砂重生??:50μm氧化鋁顆粒沖擊內(nèi)壁,粗糙度Ra控制0.8±0.1μm(過光滑導(dǎo)致等離子體湍流)  
    ??隱藏殺手清除??:用內(nèi)窺鏡檢查腔體鉸鏈死角,超聲探針震落>10μm的燒結(jié)物  
    ??四、清潔效果驗(yàn)證(量化標(biāo)準(zhǔn))??  
    ??痕量檢測??:晶圓級殘留金屬離子(Na?/K?)<1E10atoms/cm2  
    ??等離子體均一性測試??:空白硅片去膠速率波動≤±2%(9點(diǎn)測試)  
    ??粒子監(jiān)控??:清潔后首片晶圓增量為<5顆(≥0.2μm)  
    ??五、周期調(diào)整的黃金法則??  
    ???縮短清潔間隔的紅色警報??:  
    工藝氣體含碳量上升(CF?占比>20%)  
    OES檢測到388nm氰基(CN*)特征峰  
    腔體視窗透光率周衰減>3%  
    ???可延長周期綠色信號??:  
    啟用He/O?混合氣替代純氧(聚合物生成率降低40%)  
    電極表面鍍類金剛石涂層(DLC)

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    發(fā)表于 昨天 23:47 | 只看該作者
    這個問題挺有意思的,加入討論。
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